CMOS-MEMS Based Optical Electrostatic Phase Shifter Array With Low Driving Voltage and High Fill Factor

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題名:	CMOS-MEMS Based Optical Electrostatic Phase Shifter Array With Low Driving Voltage and High Fill Factor
作者:	邱俊誠(Jin-Chern Chiou)*;洪振鈞(C. C. Hung);謝禮忠(L. J. Shieh)
貢獻者:	醫學院醫學系學士班耳鼻喉學科;中國附醫生醫工程研發中心
日期:	2010-03
上傳時間:	2010-09-27 16:01:58 (UTC+8)
關聯:	IEEE JOURNAL OF QUANTUM ELECTRONICS 46(9):1301-1308
顯示於類別:	[醫學系] 期刊論文

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